真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，液环真空泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。
真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，小型真空泵，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000Pa。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，成都真空泵，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到真空有一个很大的范围，真空泵排出来的油蒸气对环境的影响。如果环境不允许有污染，水环真空泵，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。真空泵底座下应保持地基水平，泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。
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